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Mack, Chris A,

Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication / Chris Mack - xvii, 515 páginas : ilustraciones

ISBN: 9780470018934 0470018933 9780470727300 (rústica) 0470727306 (rústica)

Subjects--Topical Terms:
Circuitos integrados--Diseño y construcción
Microlitografía--Aplicaciones industriales

LC Class. No.: TK7874 / M167

Dewey Class. No.: 621.3815/31