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Paik, Ungyu,

Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / Ungyu Paik, Jea-Gun Park - xiii, 191 páginas, [14] páginas de láminas : hojas (algunas a color)

ISBN: 9781420059113 (encuadernado en tela : papel alcalino) 1420059114 (encuadernado en tela : papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Pulido químico mecánico
Nanopartículas
Nanoelectrónica

LC Class. No.: TK7874.84 / P35

Dewey Class. No.: 621.3815/2