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Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera - Second edition - 644 páginas : ilustraciones

ISBN: 9781437734836

Subjects--Topical Terms:
Pulverización catódica (Metalización)--Manuales
Películas delgadas--Manuales, etc.

LC Class. No.: TS695 / H35 2012

Dewey Class. No.: 620.5