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Sarkar, Jaydeep,

Sputtering materials for VLSI and thin film devices / Jaydeep Sarkar - x, 603 páginas : ilustraciones

ISBN: 9780815515937 0815515936

Subjects--Topical Terms:
Microelectrónica--Materiales
Pulverización catódica (Metalización)--Materiales
Circuitos integrados en muy gran escala--Materiales
Pulverización catódica (Física)
Pantallas planas--Materiales

LC Class. No.: TK7874 / S349