Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica.
Pichardo Pedrero, Ernesto
Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica. - Mexico : El autor, 2001. - 145 p. : il.
Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales
Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica. - Mexico : El autor, 2001. - 145 p. : il.
Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales