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Estructura y morfologia de peliculas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilucion de diclorosilano con hidrogeno y la presion de trabajo. - 2011. - Vol. 57, No. 3, pp. 224-231. = Revista Mexicana de Fisica

Subjects--Topical Terms:
Hydrogenated polymorphous silicon
Nanocrystals AFM
Raman