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Size distribution and visible luminescence of silicon nanoparticles embedded in SiNx thin film: role of RF power in PECVD

Gomez-Gonzalez, L. A. Dutt, A. Monroy, B. M. Escobar-Carrasquilla, J. D. Santana, G. Alvarez-Macias, C. Ponce, A.

Size distribution and visible luminescence of silicon nanoparticles embedded in SiNx thin film: role of RF power in PECVD - 2017 - Vol. 10, No. 3, Art. 1750014 = Functional Materials Letters


Chemical vapor deposition
Nanoparticles
Electron microscopy
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