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Applications of plasma processes to vlsi technology / Ed. by takuo sugano ; translated by hyo-gun kim - 394 páginas

Traduccion de: handotai purazama purosesugijutsu

ISBN: 0-471-86960-0

Subjects--Topical Terms:
Plasma--Grabado
Semiconductores--Grabado
Galvanoplastia al vapor
Circuitos integrados en muy gran escala

LC Class. No.: TK7871.85 / H3313