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Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A. / eds. Steven R.J. Brueck [y otros] - xiii, 454 páginas - Materials research society symposium proceedings 387 . - Materials Research Society symposium proceedings .

ISBN: 1558992901

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Tratamiento termico--Congresos
Dopado de semiconductores--Congresos
Deposición química de vapor--Congresos
Dielectricos--Congresos

LC Class. No.: TK7871.85 / R345 1995