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Tandon, U. S., 1952-,

Patterning of material layers in submicron region / U.S. Tandon, W.S. Khokle. - xii, 183 páginas : Ilustraciones (algunas a color) ;

Incluye referencias bibliograficas e indices.

ISBN: 0470220635 (J. Wiley) 8122405614 (Wiley Eastern)

Subjects--Topical Terms:
Circuitos integrados--Máscaras
Litografia ionica del haz
Litografia electronica del haz
Litografía por rayos X

LC Class. No.: TK7872.M3 / T35 1993

Dewey Class. No.: 621.3815/31