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Campbell, Stephen A., 1954-,

The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell - xv, 536 páginas : ilustraciones ; - Oxford series in electrical engineering .

Incluye referencias bibliograficas e indices

ISBN: 0195105087 (encuadernado en tela : papel libre de acido)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Diseño y construcción

LC Class. No.: TK7871.85 / C34

Dewey Class. No.: 621.3815/2