Detalles MARC
000 -LIDER |
campo de control de longitud fija |
01466nam a2200373zi 4500 |
003 - IDENTIFICADOR DEL NUMERO DE CONTROL |
campo de control |
$$aDLC |
005 - FECHA Y HORA DE LA ULTIMA TRANSACCION |
campo de control |
20230621110807.0 |
008 - ELEMENTOS DE LONGITUD FIJA—INFORMACION GENERAL |
campo de control de longitud fija |
970429s1994 dcua b 101 0 eng |
020 ## - NUMERO INTERNACIONAL NORMALIZADO PARA LIBROS |
Número Internacional Normalizado del libro |
0841228485 (papel alcalino) |
035 ## - NUMERO DE CONTROL DEL SISTEMA |
Número de control del sistema |
MX001000736089 |
040 ## - FUENTE DE CATALOGACION |
Agencia de catalogación original |
DLC |
Agencia que realiza la transcripción |
DLC |
Agencia que realiza la modificación |
DLC |
041 ## - CODIGO DE IDIOMA |
Código de idioma para texto/pista de sonido o título separado |
ENG |
050 00 - CLASIFICACION TOPOGRAFICA DE LA BIBLIOTECA DEL CONGRESO (LC) |
Número clasificador |
TR940 |
Número del ítem |
I57 1994 |
082 00 - NUMERO DE CLASIFICACION DECIMAL DEWEY |
Número de clasificación |
621.3815/31 |
Número de la edición |
20 |
084 ## - OTRO NUMERO DE CLASIFICACION |
Número clasificador |
General |
245 00 - MENCION DEL TITULO |
Título |
Introduction to microlithography / |
Mención de responsabilidad, etc. |
edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden |
250 ## - DECLARACION DE EDICION |
Mención de edición |
2nd ed. |
264 #1 - DECLARACION DE AVISO DE PRODUCCION, PUBLICACIÓN, DISTRIBUCIÓN, FABRICACION Y DERECHOS DE AUTOR PARA |
Lugar de producción, publicación, distribución, fabricación |
Washington, D.C. : |
Nombre del productor, editor, distribuidor, fabricante |
American Chemical Society, |
Fecha de producción, publicación, distribución, fabricación o aviso de derechos |
1994 |
300 ## - DESCRIPCION FISICA |
Extensión |
xiv, 527 páginas : |
Otros detalles físicos |
ilustraciones ; |
336 ## - TIPO DE CONTENIDO |
Término del tipo de contenido |
texto |
Fuente |
rdacontent |
337 ## - TIPO DE MEDIO |
Término de tipo de medio |
sin medio |
Fuente |
rdamedia |
338 ## - TIPO DE PORTADOR |
Término de tipo de transporte |
volumen |
Fuente |
rdacarrier |
490 0# - MENCION DE SERIE |
Mención de serie |
ACS professional reference book |
504 ## - NOTA DE BIBLIOGRAFIA, ETC. |
Nota de bibliografía, etc. |
Incluye referencias bibliograficas e indices. |
505 0# - NOTA DE CONTENIDO CON FORMATO PREESTABLECIDO |
Nota de contenido con formato preestablecido |
Contenido: Larry F. Thompson -- The lithographic process / Murrae J. Bowden -- Organic resist materials / C. Grant Willson -- Resist processing / Larry Thompson -- Plasma etching / J.A. Mucha, D.W. Hess, and E.S. Aydil. |
650 #0 - ASIENTO SECUNDARIO DE MATERIA - TERMINO TEMATICO |
Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Microlitografia |
Subdivisión de forma |
Congresos |
650 #0 - ASIENTO SECUNDARIO DE MATERIA - TERMINO TEMATICO |
Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Fotorreservas |
Subdivisión de forma |
Congresos |
650 #0 - ASIENTO SECUNDARIO DE MATERIA - TERMINO TEMATICO |
Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Ataque por plasma |
Subdivisión de forma |
Congresos |
650 #0 - ASIENTO SECUNDARIO DE MATERIA - TERMINO TEMATICO |
Término temático o nombre geográfico como elemento de entrada |
Semiconductores |
Subdivisión general |
Grabado |
Subdivisión de forma |
Congresos |
700 10 - ASIENTO SECUNDARIO - NOMBRE PERSONAL |
Nombre personal |
Thompson, L. F., |
Fechas asociadas con el nombre |
1944- , |
Término de relación |
editor |
700 10 - ASIENTO SECUNDARIO - NOMBRE PERSONAL |
Nombre personal |
Willson, C. G. |
Forma más completa del nombre |
(C. Grant), |
Fechas asociadas con el nombre |
1939- , |
Término de relación |
editor |
700 10 - ASIENTO SECUNDARIO - NOMBRE PERSONAL |
Nombre personal |
Bowden, M. J., |
Fechas asociadas con el nombre |
1943- , |
Término de relación |
editor |