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Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / M.R. Oliver, (ed.)
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TextoSeries Springer series in materials science ; 69Editor: Berlin : Springer Verlag, c2004Descripción: x, 425 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 3540431810 (papel alcalino)Tema(s): Semiconductores -- Materiales | EsmeriladoClasificación LoC:TK7871.85 | C483Otra clasificación: Serie
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | Series | TK7871.85/C483 Vol. 69 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 17231 |
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