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Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / Ungyu Paik, Jea-Gun Park
Tipo de material:
TextoEditor: Boca Raton, Florida : CRC Press/Taylor & Francis Group, c2009Descripción: xiii, 191 páginas, [14] páginas de láminas : hojas (algunas a color)Tipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781420059113 (encuadernado en tela : papel alcalino); 1420059114 (encuadernado en tela : papel alcalino)Tema(s): Pulido químico mecánico | Nanopartículas | NanoelectrónicaClasificación CDD: 621.3815/2 Clasificación LoC:TK7874.84 | P35Otra clasificación: General
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | General | TK7874.84/P35 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 19713 |
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