Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou
Tipo de material:
TextoEditor: Boca Raton, Florida : Taylor & Francis, 2012Edición: 3rd edDescripción: 3 volúmenes : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781420055115 (v. 1. : empastado, cubierta dura); 9781420055191 (v. 2. : empastado, cubierta dura); 9781420055160 (v. 3. : empastado, cubierta dura)Tema(s): Sistemas microelectromecánicos | Sistemas nanoelectromecánicos | Microfluídica | Física del estado sólidoClasificación CDD: 620/.5 Clasificación LoC:TK7875 | M33 2012
Contenidos:
v. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology -- v. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology -- v. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS Manufacturing Techniques and Applications
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | Consulta | TK7875/M33 2012 Vol. 1 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Préstamo en sala | 20449 | ||
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Libros Libros | Consulta | TK7875/M33 2012 Vol. 2 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Préstamo en sala | 20450 | ||
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Libros Libros | Consulta | TK7875/M33 2012 Vol. 3 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Préstamo en sala | 20451 |
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| TK7875/H35 Handbook of silicon based MEMS materials and technologies / | TK7875/H35 2015 Handbook of silicon based mems materials and technologies / | TK7875/M33 2012 Vol. 1 Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / | TK7875/M33 2012 Vol. 2 Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / | TK7875/M33 2012 Vol. 3 Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / | TK7876 G35 1995 Vol.1 Gallium arsenide IC applications handbook / | TK7878.4/C34 Designer's handbook of instrumentation and control circuits / |
v. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology -- v. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology -- v. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS Manufacturing Techniques and Applications
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