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Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera

Colaborador(es): Wasa, Kiyotaka [editor de la compilación] | Kanno, Isaku [editor de la compilación] | Kotera, Hidetoshi [editor de la compilación]Tipo de material: TextoTextoEditor: Waltham, MA : William Andrew, c2012Edición: Second editionDescripción: 644 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781437734836Tema(s): Pulverización catódica (Metalización) -- Manuales | Películas delgadas -- Manuales, etcClasificación CDD: 620.5 Clasificación LoC:TS695 | H35 2012Otra clasificación: Consulta
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