Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica.
Tipo de material:
TextoIdioma: SPA Detalles de publicación: Mexico : El autor, 2001. Descripción: 145 p. : ilRecursos en línea: Acceso texto completo Nota de disertación: Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Tesis Tesis | General | Pich/2001 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | TIM-649 | ||
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Tesis Tesis | General | Pich/2001 Ej.2 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | TIM-650 |
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Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales
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