Estudio de las propiedades opticas y la estabilidad quimica de peliculas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrogeno y la potencia del plasma.
Tipo de material:
TextoIdioma: SPA Detalles de publicación: Mexico : El autor, 2013. Descripción: 61 p. : ilRecursos en línea: Acceso texto completo Nota de disertación: Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales
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Tesis Tesis | General | Casti/2013 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | TIM-1830 | ||
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Tesis Tesis | General | Casti/2013 Ej. 2 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | TIM-1831 |
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Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales
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