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Characterization of high nitrogen content carbon nitride thin films by RBS and infrared techniques.

Título de la Revista: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and AtomsPor: Mendez, J.M | Gaona-Couto, A | Andrade, E | Pineda, J.C | Zavala, E.P | Muhl, S | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de FisicaTipo de material: TextoTextoIdioma: SPA Detalles de publicación: 1998. Descripción: Vol. 136-138, pp. 231-235Tema(s): IBA techniques | Chemical composition | Infrared spectroscopy | Thin film growth | Carbon nitrideRecursos en línea: Acceso texto completo
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