Influence of the sputtering gas composition on the properties of thin boron nitride thin films.
Título de la Revista: Diamond and Related MaterialsTipo de material:
TextoIdioma: SPA Detalles de publicación: 1998. Descripción: Vol. 7, no. 8, pp. 1184-1189Tema(s): Boron nitride | Sputtering | D.c. bias | FTIRRecursos en línea: Acceso texto completo
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