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Visible photoluminescence from silicon nanoclusters embedded in silicon nitride films prepared by remote plasma-enhanced chemical vapor deposition.

Título de la Revista: Physica E: Low Dimensional Systems and NanostructuresPor: Benami, A | Santana, G | Monroy, B. M | Ortiz, A | Alonso, J. C | Fandino, J | Aguilar-Hernandez, J | Contreras-Puente, G | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fısica | Instituto Politecnico Nacional. Escuela Superior de Fisica y MatematicasTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: 2007. Descripción: Vol. 38, no. 1-2, pp.148-151Tema(s): Nanoclusters | Photoluminescence | RPECVD | SiliconRecursos en línea: Acceso texto completo
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