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Propiedades mecanicas de nitruros metalicos depositados con UBM: tecnologia eficiente y ambientalmente limpia.

Título de la Revista: Revista Mexicana de FisicaPor: Olaya, J.J | Murulanda, D.M | Rodil, S.E | Bhushan, B | Universidad Nacional de Colombia. Departamento de Ingenieria Mecanica y Mecatronica | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Ohio State University. Nanotribology Laboratory for Information Storage and MEMS/NEMSTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: 2009. Descripción: Vol. 55, no. 6, pp. 425-431Tema(s): Sputtering con magnetron desbalanceado | CrN | TaN | TiN | NbN | ZrN | UnBalanced Magnetron Sputtering | CrN | TaN | TiN | NbN | ZrNRecursos en línea: Acceso texto completo
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