Variation in the structure and optical properties of polymorphous silicon thin films using dichlorosilane as silicon precursor
Título de la Revista: Physica Status Solidi C: Current Topics In Solid State PhysicsTipo de material:
TextoDetalles de publicación: 2011 Descripción: Vol 8, No 3, pp. 850-853Tema(s): Silicon | Nanocrystals | Amorphous silicon | PECVD | Dichlorosilane | HRTEM | Raman | UV-vis spectroscopyRecursos en línea: Acceso texto completo
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