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Ion beam analysis and co-sputtering simulation (CO-SS) of bi-metal films produced by magnetron co-sputtering

Título de la Revista: Nuclear Instruments and Methods In Physics Research Section B-Beam Interactions With Materials and AtomsPor: Cruz, J | Andrade, E | Muhl, S | Canto, C | de Lucio, O | Chavez, E | Rocha, M. F | Garces-Medina, E | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Instituto Politecnico Nacional. Escuela Superior de Ingenieria Mecanica y Electrica | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Facultad de Ciencias. Laboratorio de Dinamica no LinealTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: 2016 Descripción: Vol. 371, pp. 268-272Tema(s): Magnetron sputtering simulation | RBS techniques | Co-sputtering simulationRecursos en línea: Acceso texto completo
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