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Size distribution and visible luminescence of silicon nanoparticles embedded in SiNx thin film: role of RF power in PECVD

Título de la Revista: Functional Materials LettersPor: Gomez-Gonzalez, L. A | Dutt, A | Monroy, B. M | Escobar-Carrasquilla, J. D | Santana, G | Alvarez-Macias, C | Ponce, A | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Universidad Autonoma Metropolitana Iztapalapa. Departamento de Ingenieria de Procesos e Hidraulica | University of Texas at San Antonio. Department of Physics and AstronomyTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: 2017 Descripción: Vol. 10, No. 3, Art. 1750014Tema(s): Chemical vapor deposition | Nanoparticles | Electron microscopy | Photoluminescence | FTIRRecursos en línea: Acceso texto completo
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