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Al-Si-N thin films deposited by laser ablation: effect of plasma parameters on mechanical and optical properties

Título de la Revista: Materials Research BulletinPor: Rivera, L. P | Camps, E | Muhl, S | Basurto, R | Zeinert, A | Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales | Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares. Departamento de Fisica | Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares. Laboratoire de Physique de la Matiere CondenseeTipo de material: TextoTextoDetalles de publicación: 2018 Descripción: Vol. 99, pp. 306-313Tema(s): Al-Si-N | Thin films | Pulsed laser ablation (PLD) | Composite hardness | Optical emission spectroscopyRecursos en línea: Acceso texto completo
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