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Advanced metallization for ULSI applications for 1994 : proceedings of the conference held October 4-6, 1994 in Austin, Texas, U.S.A. / ed., Roc Blumenthal, Guido Janssen
Tipo de material:
TextoSeries Materials Research Society conference proceedingsEditor: Pittsburgh, Pennsylvania : Materials Research Society, c1995Descripción: 564 páginasTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 1558992790Tema(s): Circuitos integrados -- Ultra integración a gran escala -- Materiales -- Congresos | Galvanoplastia al vapor -- Congresos | Metalización electroquímica -- CongresosClasificación LoC:TK7874.76 | A38Otra clasificación: General
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Documentos presentados en la Advanced Metallization for ULSI Application Conference--Pref
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