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Introduction to microlithography / edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden
Tipo de material:
TextoIdioma: ENG Series ACS professional reference bookEditor: Washington, D.C. : American Chemical Society, 1994Edición: 2nd edDescripción: xiv, 527 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 0841228485 (papel alcalino)Tema(s): Microlitografia -- Congresos | Fotorreservas -- Congresos | Ataque por plasma -- Congresos | Semiconductores -- Grabado -- CongresosClasificación CDD: 621.3815/31 Clasificación LoC:TR940 | I57 1994Otra clasificación: General
Contenidos:
Contenido: Larry F. Thompson -- The lithographic process / Murrae J. Bowden -- Organic resist materials / C. Grant Willson -- Resist processing / Larry Thompson -- Plasma etching / J.A. Mucha, D.W. Hess, and E.S. Aydil.
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | General | TR940/I57 1994 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 11378 |
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Incluye referencias bibliograficas e indices.
Contenido: Larry F. Thompson -- The lithographic process / Murrae J. Bowden -- Organic resist materials / C. Grant Willson -- Resist processing / Larry Thompson -- Plasma etching / J.A. Mucha, D.W. Hess, and E.S. Aydil.
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