Barnat, Edward V., Pulsed and pulsed bias sputtering : principles and applications / by Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu - x, 155 páginas : ilustraciones ISBN: 140207543X Subjects--Topical Terms: Pulverización catódica (Metalización)Películas delgadas LC Class. No.: TS695 / B37 Dewey Class. No.: 621.3815/2