TY  - BOOK
AU  - Pelliccione,Matthew
AU  - Lu,Toh-Ming
TI  - Evolution of thin film morphology: modeling and simulations 
T2  - Springer series in materials science
SN  - 9780387751085
AV  - TK7872.T55 P47
PY  - 2008///
CY  - New York
PB  - Springer Verlag
KW  - Dispositivos de películas delgadas
KW  - Películas delgadas
KW  - Microestructura
KW  - Modelos matemáticos
KW  - Deposición química de vapor
ER  -