Mack, Chris A, <br/><br/>
Fundamental principles of optical lithography :  the science of microfabrication / 
Chris Mack 
 - xvii, 515 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780470018934 0470018933 9780470727300 (rústica) 0470727306 (rústica) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción<br/>Microlitografía--Aplicaciones industriales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / M167 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/31