TY  - BOOK
AU  - Mack,Chris A
TI  - Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication 
SN  - 9780470018934
AV  - TK7874 M167
U1  - 621.3815/31 22
PY  - 2007///
CY  - Chichester, West Sussex, England
PB  - Wiley
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microlitografía
KW  - Aplicaciones industriales
ER  -