TY  - BOOK
AU  - Seshan,Krishna
TI  - Handbook of thin film deposition: techniques, processes, and technologies 
SN  - 9781437778731 (empastado, cubierta dura)
AV  - TK7872.T55 H35 2012
U1  - 621.38152 23
PY  - 2012///
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier
KW  - Películas delgadas
KW  - Dispositivos de películas delgadas
KW  - Diseño y construcción
ER  -