Handbook of sputter deposition technology :  fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS / 
edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera 
 - Second edition 
 - 644 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781437734836 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Pulverización catódica (Metalización)--Manuales<br/>Películas delgadas--Manuales, etc.
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TS695  / H35 2012 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>620.5