TY  - BOOK
AU  - Wasa,Kiyotaka
AU  - Kanno,Isaku
AU  - Kotera,Hidetoshi
TI  - Handbook of sputter deposition technology: fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS 
SN  - 9781437734836
AV  - TS695 H35 2012
U1  - 620.5 22
PY  - 2012///
CY  - Waltham, MA
PB  - William Andrew
KW  - Pulverización catódica (Metalización)
KW  - Manuales
KW  - Películas delgadas
KW  - Manuales, etc
ER  -