Handbook of thin film deposition / 
edited by Krishna Seshan, Dominic Schepis 
 - Fourth edition 
 - xxi, 448 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780128123119 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Películas delgadas<br/>Dispositivos de películas delgadas--Diseño y construcción
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7872.T55  / H35 2018 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152