Pichardo Pedrero, Ernesto <br/><br/>
Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica. 

 - Mexico :  El autor,  2001. 
 - 145 p. :  il. 
<br/><br/>Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales