TY  - BOOK
AU  - Pichardo Pedrero, Ernesto
AU  - 
ED  - Universidad Nacional Autonoma de Mexico.
TI  - Peliculas delgadas de SiO/sub 2/ impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica
PY  - 2001///
CY  - Mexico
PB  - El autor
N1  - Tesis Maestria (Maestro en Ciencias-Ciencia de Materiales)-UNAM, Instituto de Investigaciones en Materiales
UR  - http://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html
ER  -