TY - BOOK AU - Gomez Gonzalez, Luis Andres AU - Santana Rodriguez, Guillermo ED - Universidad Nacional Autonoma de Mexico TI - Influencia de la potencia de RF y la presion en la intensidad y posicion de los picos de fotoluminiscencia de peliculas de nitruro de silicio ricas en silicio obtenidas por PECVD PY - 2011/// CY - Mexico PB - El autor N1 - Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales UR - http://132.248.9.195/ptb2011/marzo/0667603/Index.html ER -