Castillo Flores, Fernando <br/><br/>
Estudio de las propiedades opticas y la estabilidad quimica de peliculas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrogeno y la potencia del plasma. 

 - Mexico :  El autor,  2013. 
 - 61 p. :  il. 
<br/><br/>Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales