TY  - BOOK
AU  - Castillo Flores, Fernando
AU  - Santana Rodriguez, Guillermo,
ED  - Universidad Nacional Autonoma de Mexico.
TI  - Estudio de las propiedades opticas y la estabilidad quimica de peliculas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrogeno y la potencia del plasma
PY  - 2013///
CY  - Mexico
PB  - El autor
N1  - Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales
UR  - http://132.248.9.195/ptd2013/octubre/0703425/Index.html
ER  -