Salazar Hernandez, Jenifer <br/><br/>
Analisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3. 

 - Mexico :  El autor,  2016. 
 - 94 p. :  il. 
<br/><br/>Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales