TY  - BOOK
AU  - Salazar Hernandez, Jenifer
AU  - Monroy Pelaez, Betsabee Marel,
ED  - Universidad Nacional Autonoma de Mexico.
TI  - Analisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3
PY  - 2016///
CY  - Mexico
PB  - El autor
N1  - Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales
UR  - http://132.248.9.195/ptd2016/octubre/307116875/Index.html
ER  -