TY - BOOK AU - Rivera Resendiz, Laura Patricia AU - Camps Carvajal, Edgar Enrique, ED - Universidad Nacional Autonoma de Mexico. TI - Sintesis y caracterizacion de peliculas delgadas transparentes duras de Al-Si-N depositadas por ablacion laser pulsado PY - 2018/// CY - Mexico PB - El autor N1 - Tesis Doctorado (Doctor en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales UR - http://132.248.9.195/ptd2018/agosto/0775835/Index.html ER -