TY - BOOK AU - Barrera Mendivelso, Edwin Sebastian AU - Rodriguez Gomez, Arturo, ED - Universidad Nacional Autonoma de Mexico. TI - Estudio de las propiedades opticas, estructurales y microestructurales de peliculas delgadas de SINx crecidas a temperatura ambiente mediante pulverizacion catodica asistida por radiofrecuencia PY - 2023/// CY - Mexico PB - El autor N1 - Tesis Maestria (Maestro en Ciencia e Ingenieria de Materiales)-UNAM, Posgrado en Ciencia e Ingenieria de Materiales UR - http://132.248.9.195/ptd2023/marzo/0836014/Index.html ER -