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AU  - Mahmood, A.
AU  - Muhl, S.
AU  - Zavala, E.P.
AU  - Pineda, J.C.
AU  - Huerta, L.
ED  - Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Fisica
ED  - Universidad Nacional Autonoma de Mexico. Instituto de Investigaciones en Materiales
TI  - Ion beam analysis of SiC/sub x/ thin films using a deuterium beam
PB  - 2002.
KW  - Silicon carbide
KW  - Thin film RF
KW  - RBS
KW  - NRA
KW  - Characterization films
UR  - https://iim-b.bibliotecas.unam.mx:81/opac-tmpl/bootstrap/images/documentos/articulos/2002-18.pdf
ER  -