Applications of plasma processes to vlsi technology / 
Ed. by takuo sugano ; translated by hyo-gun kim 
 - 394 páginas 
<br/><br/> Traduccion de: handotai purazama purosesugijutsu 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0-471-86960-0 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Plasma--Grabado<br/>Semiconductores--Grabado<br/>Galvanoplastia al vapor<br/>Circuitos integrados en muy gran escala
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / H3313