TY  - BOOK
TI  - Applications of plasma processes to vlsi technology
SN  - 0-471-86960-0
AV  - TK7871.85 H3313
PY  - 1985///
CY  - New York
PB  - J. Wiley
KW  - Plasma
KW  - Grabado
KW  - Semiconductores
KW  - Galvanoplastia al vapor
KW  - Circuitos integrados en muy gran escala
N1  - Traduccion de: handotai purazama purosesugijutsu
ER  -