TY  - BOOK
AU  - Fair, Richard B.,
TI  - Rapid thermal processing: Science and technology 
SN  - 0122476905
AV  - TK7871.85 R366
PY  - 1993///
CY  - Boston
PB  - Academic, Harcourt Brace Jovanovich
KW  - Semiconductores
KW  - Tratamiento térmico
KW  - Semiconductores impuros
ER  -