Lee, Hong H., <br/><br/>
Fundamentals of microelectronics processing / 
Hong h. Lee 
 - xvi, 514 páginas 
 - McGraw-Hill chemical engineering series .
<br/><br/><label>ISBN: </label>0070370567 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción<br/>Circuitos integrados--Materiales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / L42